1. Scanning probe lithography
پدیدآورنده : Soh, Hyongsok T
کتابخانه: كتابخانه مركزی دانشگاه صنعتی شریف (طهران)
موضوع : ، Integrated circuits-- Design and construction,، Microlithography,، Scanning probe microscopy
رده :
TK
7874
.
S648
2001